眾星聯恒 極紫外/X射線產品中心

Recommended products and services

• 獨家授權! proLINE 緊湊型軟X射線光源

  特點：激光驅動等離子體的 EUV 光源、高光子通量、單色或寬帶連續的EUV光輸出、多種定制波長可選、無電極污染，產生碎屑少、小光源尺寸，高亮度。
  1-20nm (60-1000eV) 光譜范圍內的交鑰匙輻射源。長期穩定的等離子源，維護成本低，通過軟件控制進行直觀操作。可選配聚焦裝置和單色器。

• 極紫外、軟X射線內真空CCD相機-LOTTE-i成像系列

  公司介紹：成立于2008年的greateyes，是以德國柏林洪堡大學的技術為基礎，迅速發展成為國際知名的先進探測器生產企業。如今，其科研與工業客戶群體已遍布多個國家。greateyes開發、生產并銷售高性能科學相機。其作為精確探測器，被廣泛應用于成像與譜學應用領域。同時，greateyes公司也生產用于太陽能產業的電致熒光與光致熒光檢測系統。出身于柏林的LOTTE是德國greateyes公司最新研

• XUV多層膜窄帶反射鏡

  公司介紹得益于北京眾星聯恒科技有限公司在中國X射線、極紫外的專注，近10年的積累，對于極紫外光學技術及中國有較為深入的了解。而德國optiXfab公司于2012年開始商業化Fraunhofer研究所的Mo/Si多層膜專利技術，至今已經給客戶生產了近2萬多片鏡片，中大多數都是半導體工業的客戶，如LLP光源的收集鏡及Schwarzschild物鏡等。經過雙方充分的討論及密切，我們共同決定將在半導體工業

• 三維13.5nmEUV/SXR復制鏡

  極紫外13.5nm高效率收集，超大立體角

• X射線相襯、暗場成像套件

  Talint EDU: 模塊化、高性價比的X射線相襯、暗場成像套件X射線相位襯度成像和傳統的X射線吸收成像相比，X射線相位襯度成像能夠為輕元素樣品提供更高的襯度，特別適合用于對軟組織和輕元素構成的樣品進行成像。目前，主要的5類相襯成像方式中，大部分對光源的相干性要求極高，只能在同步輻射光源或者借助微焦點X射線源實現。而光柵法相襯成像，經過十多年的發展，已經成為在實驗室實施相襯成像實驗的主流技術路線

• WidePIX CHROMATIC Medipix3 光子計數X射線探測器

  Medipix3芯片，無損檢測、生物醫學、地質采礦

• MiniPIX SPRINTER Timepix2 光子計數X射線探測器

  MiniPIXSPRINTER：37克99幀，領跑輻射探測光子計數型探測器一款緊湊型輻射檢測解決方案，將高達 99fps 的高速成像與先進的 Timepix2 技術相結合，從材料分析到航天工業或電子顯微鏡檢查，多應用多功能。緊湊、先進、高速單光子計數探測器，采用 TIMEPIX2 芯片，提供多功能成像和粒子跟蹤解決方案一款全新的小型化、低功耗輻射探測器，配備單個 Timepix2 芯片。該設備可以

• 極紫外/13.5nm菲涅爾波帶片

  襯度材料：SiO2 襯度材料厚度：~250nm支撐薄膜材料：Si支撐薄膜厚度：~200nm支撐薄膜透過率： 預計衍射效率>14% @13.5nm主要應用方向：相干衍射成像掩模版檢測